Tip-Tilt flessibile con attuazione

Bayat Far, Aslan (2016) Tip-Tilt flessibile con attuazione. Bachelor thesis, Scuola Universitaria professionale della Svizzera italiana (SUPSI).

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Abstract

Il lavoro svolto in questo progetto ha come scopo quello di migliorare un aspetto meccanico della macchina di nano imprinting, ovvero la precisione di allineamento (errore angolare) tra il piano del too-ling della macchina e il piano di lavoro. Attualmente la macchina in questione sfrutta il principio di posizionamento basato su un cuscinetto d’aria (sfera attiva), il quale effettua l’autoallineamento mediante l’aria presente in una sede sferica. Questo sistema pur essendo funzionale, presenta un gioco nella fase di esercizio dovuto alla sottra-zione dell’aria dalla sfera attiva per il mantenimento della posizione in presenza dello stato di carico elevato di 4000 N. In questo lavoro è stato deciso di risolvere il problema sfruttando le potenzialità dei sistemi flessibili, annullando perciò il gioco. Più precisamente è stato realizzato un sistema Tip-Tilt flessibile (allinea-mento angolare) comprensivo di attuazione il quale, una volta allineato al piano di lavoro, provvede a bloccare la posizione raggiunta. Dopo una prima fase di analisi delle varie soluzioni, è stata quantificata la rigidità necessaria alla strut-tura per garantire la precisione di posizionamento richiesta. In seguito sono state effettuate le simula-zioni FEM per analizzare le prestazioni della struttura sviluppata e, successivamente, è stato progetta-to il sistema motorizzato d’attuazione, comprensivo di sensori ottici per la verifica della posizione. La struttura ottenuta, in acciaio maraging, possiede un volume pari a 120x120x70 mm3 e compie una corsa angolare pari a ± 4 mrad.

Item Type: Thesis (Bachelor)
Subjects: Meccanica
Divisions: Dipartimento tecnologie innovative > Ingegneria meccanica
URI: http://tesi.supsi.ch/id/eprint/1038

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